低压扫描电镜电介质二次电子MCP收集特性

• 作者: 李维勤 汪春华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电介质 二次电子 收集效率 微通道板(MCP) 扫描电镜(SEM)
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 191-196
• 分类号: TN407
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.03.010

摘要

采用数值仿真和实验测量相结合的方法,研究了低压扫描电镜(LVSEM)检测电介质样品过程中二次电子的出射规律,获得了二次电子的出射特性和微通道板(MCP)收集器的接收特性.结果表明,二次电子的出射角度近似余弦分布;由于电子的散射、输运和积累电荷的作用,绝缘的电介质样品表面上方产生了空间负电位分布,沿法线方向电位先下降到最小值,然后又回升,并逐渐趋于零电位.在这种空间负电位分布所形成的表面电场的作用下,部分较低出射能量的二次电子会返回积累于样品表面.在收集器正电场的作用下,能够脱离样品表面局部正电场束缚且具有较大出射角度的二次电子更容易被收集,电介质样品MCP收集器的收集效率约为21％;降低收集电压可以有效提高收集效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	汪春华	西安航空学院电气学院	11	23	4.0	4.0
2	李维勤	西安理工大学自动化与信息工程学院	17	20	3.0	4.0