原文服务方: 现代电子技术       
摘要:
针对低压功率器件传统工艺流程进行创新和优化,以原有的6层掩膜板为基础,对掩膜板层数进行削减,用接触孔掩膜板完成原有的保护环掩膜板,工作区掩膜板及 N+区掩膜板的作用。器件的电性参数目标,通过设计具体工艺参数,并对其进行仿真,以验证工艺可行性。所用的参数与设计方案适用于所有低压功率器件生产制造。
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文献信息
篇名 基于沟槽型功率器件的三层掩膜板工艺设计
来源期刊 现代电子技术 学科
关键词 功率器件 沟槽型功率器件 掩膜板 工艺仿真
年,卷(期) 2015,(20) 所属期刊栏目 能源技术
研究方向 页码范围 146-149,153
页数 5页 分类号 TN386.1-34
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 郭筝 上海交通大学微电子学院 12 39 3.0 6.0
2 王善屹 上海交通大学微电子学院 1 0 0.0 0.0
3 楼颖颖 1 0 0.0 0.0
4 钱亮 1 0 0.0 0.0
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研究主题发展历程
节点文献
功率器件
沟槽型功率器件
掩膜板
工艺仿真
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
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相关学者/机构
期刊影响力
现代电子技术
半月刊
1004-373X
61-1224/TN
大16开
1977-01-01
chi
出版文献量(篇)
23937
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135074
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