基于沟槽型功率器件的三层掩膜板工艺设计

• 作者: 楼颖颖 王善屹 郭筝 钱亮
• 来源期刊: 现代电子技术
• 关键词: 功率器件 沟槽型功率器件 掩膜板 工艺仿真
• 年，卷（期）: 2015,（20）
• 所属期刊栏目: 能源技术
• 页码范围: 146-149,153
• 页数: 5页
• 分类号: TN386.1-34
• 语种: 中文

摘要

针对低压功率器件传统工艺流程进行创新和优化，以原有的6层掩膜板为基础，对掩膜板层数进行削减，用接触孔掩膜板完成原有的保护环掩膜板，工作区掩膜板及 N+区掩膜板的作用。器件的电性参数目标，通过设计具体工艺参数，并对其进行仿真，以验证工艺可行性。所用的参数与设计方案适用于所有低压功率器件生产制造。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭筝	上海交通大学微电子学院	12	39	3.0	6.0
2	王善屹	上海交通大学微电子学院	1	0	0.0	0.0
3	楼颖颖		1	0	0.0	0.0
4	钱亮		1	0	0.0	0.0