碱溶性聚氨酯改性甲基丙烯酸酯共聚物的制备及其在光致抗蚀剂中的应用

• 作者: 刘仁 刘敬成 刘晓亚 刘秋华 李治全 穆启道 郑祥飞
• 来源期刊: 信息记录材料
• 学科: 工学
• 关键词: 聚氨酯 甲基丙烯酸酯共聚物 光致抗蚀剂 分辨率
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 14-20
• 页数: 7页
• 分类号: TQ31
• 字数: 4333字
• 语种: 中文

摘要

首先以甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)和异佛尔酮二异氰酸酯(IPDI)为反应单体,合成一种聚氨酯甲基丙烯酸酯大分子单体(PUA),然后与甲基丙烯酸(MAA)、甲基丙烯酸羟乙酯(HEMA)、甲基丙烯酸苄基酯(BZMA)通过自由基共聚制备一系列共聚物PMHB.利用傅里叶红外光谱(FTIR)、核磁共振氢谱(1H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、热重分析(TGA)等表征了共聚物的结构与性能.制备的共聚物的重均分子量(Mw)在12867-20879g/mol之间;共聚物的热分解温度(T10％)达到220℃.以PMHB为基体树脂制备光致抗蚀剂,考察了光致抗蚀剂膜的铅笔硬度、附着力和分辨率,研究结果表明,光致抗蚀剂性能良好,分辨率达到40μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓亚	江南大学化学与材料工程学院	275	2088	22.0	30.0
2	刘仁	江南大学化学与材料工程学院	76	286	8.0	12.0
3	刘敬成	江南大学化学与材料工程学院	39	169	6.0	10.0
4	李治全	江南大学化学与材料工程学院	13	22	3.0	3.0
5	刘秋华	江南大学化学与材料工程学院	3	4	2.0	2.0
6	郑祥飞	江南大学化学与材料工程学院	7	12	2.0	3.0
7	穆启道		1	2	1.0	1.0