类金刚石碳剥离膜的制备及其性能研究

• 作者: 夏清良 张榕 杜英辉 樊启文
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 类金刚石碳 剥离膜 磁过滤阴极真空弧 寿命 结构
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 1509-1514
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.7538/yzk.2015.49.08.1509

摘要

采用磁过滤阴极真空弧（FCVA）技术制备了质量厚度为5～7μg／cm2的类金刚石碳（DLC）剥离膜。用XP2U型精密电子天平测试分析了φ100 mm范围内的DLC剥离膜均匀性，结果显示其最大不均匀性小于10％。通过扫描电子显微镜（SEM ）、原子力显微镜（AFM ）、万能摩擦磨损试验机和X光电子谱（XPS）测试分析了DLC剥离膜的表面形貌、耐磨损特性和结构，结果显示采用双90° FCVA技术沉积的DLC剥离膜表面光滑致密、耐磨，几乎没有大颗粒的污染，表征金刚石特性的 sp3键含量超过70％。在北京 HI‐13串列加速器上使用107 Ag －、70 Ge－、48 Ti－、28 Si－、197 Au－和127 I－六种典型质量的离子束对质量厚度为5～7μg／cm2的DLC剥离膜和碳剥离膜寿命进行测试比较，结果显示DLC剥离膜寿命比碳剥离膜的高2.6～10倍。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜英辉	中国原子能科学研究院核物理研究所	9	20	3.0	4.0
2	樊启文	中国原子能科学研究院核物理研究所	9	4	1.0	2.0
3	张榕	中国原子能科学研究院核物理研究所	6	4	1.0	2.0
4	夏清良	中国原子能科学研究院核物理研究所	3	0	0.0	0.0