四氯化硅流化床冷氢化工艺的研究

• 作者: 严大洲 刘挥彬 张升学 杨永亮
• 来源期刊: 世界有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 四氯化硅 流化床 冷氢化
• 年，卷（期）: 2015,（8）
• 所属期刊栏目: 封面报道
• 页码范围: 17-20
• 页数: 4页
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文

摘要

本文通过实验研究了SiCl4流化床加氢工艺,对温度、压力、料位压差及进料配比等因素对SiC14转化率的影响进行了考察.结果表明,现有冷氢化流化床系统,四氯化硅转化率随温度、压力、反应料位压差、氢气与四氯化硅摩尔进料配比的增大而增大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	严大洲		20	103	5.0	10.0
2	杨永亮		16	37	4.0	6.0
3	刘挥彬		5	5	1.0	2.0
4	张升学		12	14	3.0	3.0