小电流校准检定系统建立及不确定度评定

• 作者: 于丽娟 李宪优 王玲 韩光 魏学荣
• 来源期刊: 核电子学与探测技术
• 学科: 工学
• 关键词: 小电流测量仪 校准系统建立 不确定度评定
• 年，卷（期）: 2015,（9）
• 页码范围: 944-946
• 页数: 3页
• 分类号: TN41
• 字数: 1554字
• 语种: 中文

摘要

小电流测量仪器在航空航天测控、半导体集成电路测试、核试验测试及其他研究领域中应用较多，并且发挥着很重要的作用。由于小电流测量仪器精度高，分辨率达到fA级，小电流测量仪器的校准、检定就显得尤为困难。本文论述了利用Keithley的5156精密高阻和Fluke5520A多功能源组成的小电流测量仪校准、检定系统。针对该校准系统，分析了校准过程的不确定度来源，依据相关标准进行了不确定度评定，结果证明组建的小电流测量仪校准系统是可靠的。该系统完全可以满足各种小电流测量仪的校准、检定工作。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玲	西北核技术研究所强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室	9	25	3.0	4.0
2	李宪优	西北核技术研究所强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室	11	28	3.0	4.0
3	魏学荣	西北核技术研究所强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室	10	27	3.0	4.0
4	于丽娟	西北核技术研究所强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室	13	37	3.0	4.0
5	韩光	西北核技术研究所强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室	4	3	1.0	1.0