静电驱动柔性振膜的吸合特性研究

• 作者: 丁桂甫 张彧 王文 赵小林
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电驱动 柔性振膜 吸合特性 完全吸合电压 非中心对称
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 226-232
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.04.005

摘要

对静电驱动柔性振膜的吸合特性进行了理论分析和实验观测.通过理论计算得到了静电驱动下柔性振膜与具有连续曲面的腔体实现完全吸合的吸合电压.完全吸合电压随振膜电极与腔体直径的偏差以及振膜初始应力的增大而增大.同时,通过实验验证了静电驱动下柔性振膜的电极与具有连续曲面的腔体在驱动电压100 V、驱动频率2.5 Hz的条件下能够实现完全吸合.振膜电极与腔体直径的偏差会导致振膜所受静电力以及二者之间的电容能均呈现出明显的不均匀性,因此二者的完全吸合过程呈现出显著的非中心对称特性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文	上海交通大学制冷与低温工程研究所	109	1033	16.0	28.0
2	张彧		3	1	1.0	1.0