Nb/Al-AlOx/Nb超导隧道结的制备

• 作者: 吴培亨 姚晓栋 康琳 张广涵 曹春海 翟计全 许伟伟 陈健
• 来源期刊: 低温与超导
• 关键词: Nb/Al-AlOx/Nb 超导隧道结 制备工艺
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 19-21
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

在高阻硅衬底上采用光刻、直流磁控溅射、反应离子刻蚀(RIE)、等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)等方法研究制备了高质量的Nb/Al-AlOx/Nb超导隧道结.在4.2K下,测量了直径8μm的圆形结样品,得到临界电流密度约为1.6kA/cm2,漏电流约为50 μA.制结工艺流程的重复性较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许伟伟		69	148	6.0	9.0
2	吴培亨		93	237	8.0	12.0
3	康琳		57	212	8.0	12.0
4	陈健		73	202	7.0	11.0
5	曹春海		15	10	2.0	3.0
6	翟计全		8	0	0.0	0.0
7	张广涵		3	1	1.0	1.0
8	姚晓栋		3	1	1.0	1.0