用于跨尺度测量的DMD控制策略研究

• 作者: 付胜杰 余卿 叶瑞芳 崔长彩
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 表面形貌测量 跨尺度测量 数字微镜器件 结构光
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: ?光电测量与检测?
• 页码范围: 7-12
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 字数: 3035字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2015.05.002

摘要

为了测量被测物面的微观特征量及这些特征量间的关系，提出基于数字微镜器件(DMD)的跨尺度测量方法，研究针对DMD的控制方法及基于DMD的测量策略，在不对测量系统硬件做任何修改的前提下，仅通过软件编程实现对DMD结构光参数的改变，理论上可实现从0.1μm到1 mm的跨尺度测量。搭建了基于DMD的跨尺度测量平台，实验结果表明，轴向测量精度与横向分辨力均可达到微米级，可实现对表面微观结构的快速扫描。该方法可以较好地解决目前诸多表面形貌测量中存在的多尺度问题。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔长彩	华侨大学制造工程研究院	55	459	12.0	20.0
2	叶瑞芳	华侨大学机电及自动化学院	19	60	4.0	7.0
3	余卿	华侨大学机电及自动化学院	21	61	4.0	7.0
5	付胜杰	华侨大学机电及自动化学院	11	20	3.0	4.0