Al/AlOx/Al隧道结简化制备技术

• 作者: 吴培亨 姚晓栋 康琳 张广涵 曹春海 李永超 翟计全 许伟伟 陈健
• 来源期刊: 低温与超导
• 关键词: Al/AlOx/Al 隧道结 制备工艺
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 所属期刊栏目: 超导技术
• 页码范围: 22-24
• 页数: 3页
• 语种: 中文

摘要

研究了一种在高阻硅衬底上Al/AlOx/Al超导隧道结简化制备技术.通过一次光刻镀膜完成隧道结结区的确定和上引线的制备,工艺流程简单重复.在0.3K温度下测量了隧道结样品的Ⅰ-Ⅴ特性,能隙电压Vg为0.37mV,超导临界电流密度约为12A/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许伟伟		69	148	6.0	9.0
2	吴培亨		93	237	8.0	12.0
3	康琳		57	212	8.0	12.0
4	陈健		73	202	7.0	11.0
5	曹春海		15	10	2.0	3.0
6	翟计全		8	0	0.0	0.0
7	张广涵		3	1	1.0	1.0
8	姚晓栋		3	1	1.0	1.0
9	李永超		6	4	1.0	2.0