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摘要:
研究了一种在高阻硅衬底上Al/AlOx/Al超导隧道结简化制备技术.通过一次光刻镀膜完成隧道结结区的确定和上引线的制备,工艺流程简单重复.在0.3K温度下测量了隧道结样品的Ⅰ-Ⅴ特性,能隙电压Vg为0.37mV,超导临界电流密度约为12A/cm2.
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电子束
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SiCp/Al复合材料
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Al/AlOx/Al隧道结简化制备技术
来源期刊 低温与超导 学科
关键词 Al/AlOx/Al 隧道结 制备工艺
年,卷(期) 2015,(7) 所属期刊栏目 超导技术
研究方向 页码范围 22-24
页数 3页 分类号
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 许伟伟 69 148 6.0 9.0
2 吴培亨 93 237 8.0 12.0
3 康琳 57 212 8.0 12.0
4 陈健 73 202 7.0 11.0
5 曹春海 15 10 2.0 3.0
6 翟计全 8 0 0.0 0.0
7 张广涵 3 1 1.0 1.0
8 姚晓栋 3 1 1.0 1.0
9 李永超 6 4 1.0 2.0
传播情况
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引文网络
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研究主题发展历程
节点文献
Al/AlOx/Al
隧道结
制备工艺
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
低温与超导
月刊
1001-7100
34-1059/O4
16开
安徽省合肥市濉溪路439号安徽合肥市1019信箱
26-40
1973
chi
出版文献量(篇)
3386
总下载数(次)
10
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导