相位凝固技术中干涉信号调制解调误差分析

• 作者: 张晓青 曹文娟 贾豫东
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 激光技术 激光反馈干涉 相位凝固技术 调制解调 重构 微位移测量
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: ? 光通信与光信息技术?
• 页码范围: 501-505
• 页数: 5页
• 分类号: TN247
• 字数: 2669字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.04.016

摘要

为了进一步减小基于相位凝固技术的激光反馈干涉系统测量运动物体微位移时的测量误差，采用MATLAB数值仿真及曲线拟合的方法，对移相间隔和外腔反射面振动幅度引起的系统误差进行了理论分析。在系统实验中依据相位凝固原理对物体运动产生的干涉信号进行采样，获取多组光功率曲线，在光功率曲线上实时判向并标记特征点。根据特征点重构被测物体的微位移曲线，对重构得到的微位移台阶曲线进行多项式拟合以提高测量精度。结果表明，在固定移相间隔为π／5、激光器波长为1550nm的情况下，测量分辨率优于λ／20（77．5nm），实际测量的绝对误差最大值为47．98nm，峰峰值误差平均值小于1nm。相位凝固技术调制解调干涉信号为微位移的方向辨识和高精度测量提供了新的解决方案。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张晓青	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院测控技术与仪器系	72	119	5.0	8.0
5	贾豫东	北京信息科技大学仪器科学与光电工程学院测控技术与仪器系	29	37	4.0	4.0
9	曹文娟	北京信息科技大学现代测控技术教育部重点实验室	4	6	2.0	2.0