基于激光散斑角度相关法表面粗糙度测量

• 作者: 王文生 郭晓明 陈晨 马军
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 表面粗糙度 激光散斑 角度散斑相关方法 MATLAB编程
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: ? 激光与光电子技术应用?
• 页码范围: 497-500
• 页数: 4页
• 分类号: TN247
• 字数: 2629字
• 语种: 中文
• DOI: 10.7510/jgjs.issn.1001-3806.2015.04.015

摘要

为了完成对精密机械表面粗糙度的精确测量，基于远场角度散斑强度的相关理论，采用激光散斑方法设计了表面粗糙度测量的实验光路。在实验光路中，将平面镜与待测粗糙表面固锁在一起，当转动待测粗糙表面时，平面镜与分束镜、接收屏组成了测量转动角度的光指针，提高了转动角度的测量准确度。在数据处理中，提出了基于MATLAB软件的角度散斑相关度峰值的计算方法，简化了测量步骤，提高了测量速度，进而利用相关度峰值计算求得表面粗糙度。利用设计和组建的系统对平铣表面粗糙度标准模块的表面粗糙度进行了实际测量，并对测量结果与标准样块的标称值进行比较，取得了较高的测量准确度。结果表明，此研究验证了激光散斑方法测量表面粗糙度的可行性，对进一步完善表面粗糙度的精密测量是有帮助的。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王文生	长春理工大学光电工程学院	88	556	13.0	16.0
2	马军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	71	550	13.0	20.0
3	陈晨	长春理工大学光电工程学院	13	15	3.0	3.0
4	郭晓明	长春理工大学光电工程学院	2	8	2.0	2.0