硅基MEMS红外光源光谱特性测试研究

• 作者: 丑修建 孔龄婕 孙玉虹 孙立宁 曹嘉峰 王成 陈晓勇
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS红外光源 光谱测试 光栅衍射 光谱辐射
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 测量技术
• 页码范围: 347-350
• 页数: 4页
• 分类号: TN212
• 字数: 2014字
• 语种: 中文

摘要

硅基 MEMS 红外光源作为红外应用系统的核心部件，其光学辐射特性直接影响着整个红外装置的性能，然而，国内外对于硅基 MEMS 红外光源的辐射特性尤其是辐射光谱特性未见详细报道，因此，为确定硅基MEMS红外光源的辐射光谱分布，对MEMS红外光源光谱特性进行准确测试是非常必要的。实验采用OL（Optronic Laboratories）系列光谱测量系统对MEMS红外光源进行光谱特性测试，相对辐射光谱测试结果显示该光源的红外光谱波段主要分布在3～5mm，中心波长在3.6mm处，其大气透过率接近90%，具有很好的大气透射度。