基于紫外厚胶的探针加工工艺

• 作者: 崔建利 张斌珍 段俊萍 王伟 贾志浩 赵龙
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) SU-8胶 探针 坐标测量机 折射率补偿
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 加工、测量与设备
• 页码范围: 256-260
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.04.010

摘要

研究了一种基于紫外厚胶SU-8的亚毫米探针的加工工艺,通过溶液间的界面张力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱.这种新技术利用紫外LIGA技术替代较为复杂昂贵的深反应离子刻蚀(DRIE)技术,使用甘油补偿紫外胶与空气之间的折射率差,使紫外光透过微球后依然可以曝光厚这几百微米SU-8胶形成微柱,并且提出原位放大接触点的对准方法,实现了微球与微柱的同轴.最终实现高深宽比的探针结构,可以作为关键部件应用于三坐标测量机.由于此工艺与传感器工艺相容,探针可以直接制作在集成了传感器的测头基底上,大幅减少了装配误差.