页岩的氩离子抛光制样研究

• 作者: 曹海虹 王亮 章雄冬
• 来源期刊: 石油实验地质
• 学科: 工学
• 关键词: 氩离子抛光 扫描电镜(SEM) 页岩
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 方法?技术
• 页码范围: 525-529
• 页数: 5页
• 分类号: TE135
• 字数: 2743字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11781/sysydz201504525

摘要

由于页岩结构的特殊性，其内部存在大量的微孔隙，借助于氩离子抛光技术能够揭示这些孔隙的真实结构。该文对不同加速电压、抛光时间、抛光角度及样品台转速等条件下氩离子束对页岩截面抛光处理的效果进行了研究，通过场发射扫描电镜观察，比较了不同抛光条件下页岩抛光面的形貌。研究表明：适当降低加速电压能够获得较好的抛光效果；抛光时间存在最佳值，并非越长越好；离子束入射角在一定范围内增大有利于平整度增加；较大的样品台转速会明显降低抛光效果。