低频响应MEMS压电式微型振动发电机

• 作者: 丑修建 何剑 刘立 安坤 张文栋 陈东红
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 低频响应 微型振动发电机 PZT膜 输出功率 溶胶-凝胶
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 713-717,728
• 分类号: TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.11.006

摘要

利用溶胶-凝胶工艺实现均匀致密压电(PZT)膜与Pt/Ti/SiO2/Si/SiO2晶片良好异质集成制造,结合湿法腐蚀、干法刻蚀、磁控溅射、光刻和剥离等MEMS加工工艺制造了一种"单中心质量块-8悬臂梁"结构的压电式微型振动发电机,实现了振动能向电能的转换.测试结果表明:在谐振频率16 Hz、加速度激励3 g、16个压电敏感单元相串联条件下,器件开路输出交流电压峰峰值最大,为166.40 mV;当加栽1.20 MΩ负载时,输出功率最大,为0.73 nW,单位体积的输出功率为37.27 nW/cm3,压电敏感单元有效单位面积下的输出功率为0.26 nW/cm2.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘立	中北大学电子测试技术重点实验室	6	18	3.0	4.0