摩尔定律的过去、现在和未来

• 作者: 戴锦文 缪小勇
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 摩尔定律 芯片尺寸极限 超越摩尔定律 beyond CMOS
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 微电子制造与可靠性
• 页码范围: 30-34
• 页数: 5页
• 分类号: TN303
• 字数: 5145字
• 语种: 中文

摘要

分析研究了半导体技术摩尔定律的过去、现在和未来,重点分析了摩尔定律的产生、发展以及在基础物理、光刻、制造成本及功耗等方面的困难和挑战.同时讨论了"超越摩尔定律"的发展方向、适应领域范围,以及摩尔定律在未来的可能实现方式.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	缪小勇		11	43	4.0	6.0
2	戴锦文		3	25	2.0	3.0