MEMS射频同轴线的仿真与工艺研究

• 作者: 崔建利 张斌珍 赵龙 高荣惠
• 来源期刊: 中北大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 同轴传输线 光刻 电镀 SU-8 RF MEMS
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 所属期刊栏目: 电子与电子信息
• 页码范围: 713-718
• 页数: 6页
• 分类号: TH703
• 字数: 2039字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-3193.2015.06.020

摘要

以SU-8方形柱作为支撑衬底,初步设计中心频率为38 GHz空气填充的微型矩形同轴线,通过HFSS电磁仿真软件对设计的结构进行模拟仿真与优化,并结合实际加工工艺和测试条件,最终确定中心同轴的横截面为200 μm×200μm,外壁内表面的横截面为500 μm× 500 μm,对支撑衬底尺寸进行最优化模拟仿真,确定SU-8矩形支撑衬底宽度为200 μm.采用SU-8紫外光刻工艺并结合铜的电镀工艺进行微型同轴线结构的加工.利用微波探针测试台对其传输性能进行测试,测试结果显示该微型同轴线在中心频率处回波损耗S11在-30 dB以下,插入损耗S12参数为-0.3 dB.该工艺方法加工的同轴传输线具有带宽大、介质损耗小、辐射损耗小和抗干扰强等优点,可用于高性能射频和微波电路.另外,它的制作工艺可与其他射频和微波器件及集成电路工艺兼容,便于与射频和微波电路集成.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张斌珍	中北大学电子测试技术重点实验室	107	535	12.0	18.0
2	赵龙	中北大学电子测试技术重点实验室	12	37	4.0	5.0
3	高荣惠	中北大学电子测试技术重点实验室	3	4	1.0	2.0
4	崔建利	中北大学电子测试技术重点实验室	13	34	3.0	5.0