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摘要:
冷阴极在X射线源中有重要应用.本文结合微加工技术和磁控溅射镀膜技术,采用直接热氧化法实现了在玻璃衬底上大面积定域制备氧化钨(WO3)纳米线阵列.制备所得的WO3纳米线具有较大的长径比.场发射特性测试表明,该WO3纳米线冷阴极具有良好的场发射特性,开启电场为4.9 V/μm,发射均匀性好,有望应用在平板X射线源中.
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 氧化钨纳米线定域制备及其场发射特性研究
来源期刊 真空电子技术 学科 工学
关键词 氧化钨纳米线 热氧化制备 场发射特性
年,卷(期) 2015,(1) 所属期刊栏目 研究与设计
研究方向 页码范围 4-7
页数 4页 分类号 TN14
字数 1092字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈道坤 光电材料与技术国家重点实验室中山大学物理科学与工程技术学院 1 2 1.0 1.0
2 许卓 光电材料与技术国家重点实验室中山大学物理科学与工程技术学院 1 2 1.0 1.0
3 刘飞 光电材料与技术国家重点实验室中山大学物理科学与工程技术学院 1 2 1.0 1.0
4 邓少芝 光电材料与技术国家重点实验室中山大学物理科学与工程技术学院 2 2 1.0 1.0
5 许宁生 光电材料与技术国家重点实验室中山大学物理科学与工程技术学院 4 4 1.0 1.0
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氧化钨纳米线
热氧化制备
场发射特性
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真空电子技术
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