Al/Ga共掺杂ZnO透明导电薄膜的正交优化

• 作者: 刘志宝 孙华 张长存 王小蕊 马洪芳 马芳
• 来源期刊: 太阳能学报
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 正交试验 共掺杂 GAZO薄膜 光电性能
• 年，卷（期）: 2015,（7）
• 页码范围: 1550-1555
• 页数: 6页
• 分类号: TB34
• 字数: 4514字
• 语种: 中文

摘要

利用正交试验,对溶胶-凝胶法(sol-gel)制备Al/Ga共掺杂ZnO透明导电薄膜(GAZO)的工艺进行优化,研究溶胶浓度、掺杂配比、热处理温度、薄膜厚度等因素对薄膜光电性能的影响规律.分别以薄膜的透光率和电阻率作为评价指标,确定制备GAZO薄膜的最佳工艺参数.采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、可见分光光度计和双电测四探针电阻率测试仪分别分析薄膜的结构、表面形貌以及光电性能等.结果表明:Al和Ga的掺入未影响ZnO的晶体结构,也未生成其他杂质氧化物.最佳工艺条件下,薄膜在可见光范围内的透过率为88.458％,电阻率为2.66×10-3 Ω·cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙华	山东建筑大学材料科学与工程学院	30	173	8.0	11.0
2	马芳	山东建筑大学材料科学与工程学院	8	31	4.0	5.0
3	马洪芳	山东建筑大学材料科学与工程学院	39	314	10.0	16.0
7	刘志宝		7	94	5.0	7.0
8	王小蕊	山东建筑大学材料科学与工程学院	5	21	2.0	4.0
9	张长存	山东建筑大学材料科学与工程学院	3	6	1.0	2.0