沉积时间对脉冲激光沉积类金刚石膜的影响

• 作者: 仇冀宏 何立文 孙伟 罗乐 蒋大鹏
• 来源期刊: 应用激光
• 学科: 工学
• 关键词: 脉冲激光沉积法 类金刚石膜 沉积时间 微观结构 表面形貌
• 年，卷（期）: 2015,（6）
• 页码范围: 704-707
• 页数: 4页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.14128/j.cnki.al.20153506.704

摘要

用脉冲激光沉积法制备类金刚石膜的实验中,保持其它实验参数不变,沉积时间分别取15、20 min和25 min来沉积类金刚石膜.用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测;用原子力显微镜对薄膜的表面形貌进行检测.检测结果表明,在其它实验参数不变的条件下,沉积时间从15 min增加到20 min时,薄膜中石墨晶粒数量或体积减小,sp3/sp2比值和薄膜密度明显增大,薄膜表面粗糙度显著降低.沉积时间从20 min增加到25 min时,薄膜中石墨晶粒数量或体积减小,但是sp3/sp2比值和薄膜密度都没有明显改变.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗乐		62	316	10.0	14.0
2	孙伟		56	345	12.0	17.0
3	仇冀宏		10	18	3.0	3.0
4	何立文		3	8	2.0	2.0
5	蒋大鹏		4	7	2.0	2.0