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Self-aligned offset gate poly-Si TFTs using photoresist trimming technology
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摘要：
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文献信息
| 篇名 | Self-aligned offset gate poly-Si TFTs using photoresist trimming technology | ||
| 来源期刊 | 中国科学 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 多晶硅TFT 修整技术 自对准 光致抗蚀剂 偏置 薄膜晶体管 各向同性 截止电流 | ||
| 年，卷（期） | zgkx_2015,（4） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 124-129 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TN873.93 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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