单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器的研究

• 作者: 刘梦然 张国军 张文栋 简泽明 许娇 陈尚
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 阵列式MEMS矢量水听器 可靠性 灵敏度 指向性
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 9-12,16
• 页数: 5页
• 分类号: TP565.1
• 字数: 2042字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13873/J.1000-9787(2015)01-0009-04

摘要

针对当前对MEMS矢量水听器高可靠性迫切要求,设计了2×2单片集成四元阵列式MEMS矢量水听器,以保证其中一个敏感微结构失效损坏或工作不正常时,水听器仍能正常工作.结合ANSYS软件对阵列敏感微结构进行了仿真分析;设计了该微结构的加工工艺流程;最后,对阵列式MEMS矢量水听器进行水声校准测试.测试结果表明:阵列式水听器可靠性明显提高,灵敏度达到-179 dB(0 dB =1V/μPa),具有良好的“8”字指向性.