砂轮测量用白光干涉仪三维运动机台设计

• 作者: 余卿 崔长彩 钟浩明
• 来源期刊: 杭州师范大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 白光干涉仪 有限元分析 位移平台
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 数学与电子技术
• 页码范围: 72-76
• 页数: 5页
• 分类号: TH741
• 字数: 2825字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-232X.2015.01.013

摘要

为了实现对工件表面质量进行预测和控制,对砂轮表面的三维形貌测量、表征和评价就显得尤为重要.设计了一款砂轮检测用白光垂直扫描干涉仪三维运动机台,主要分为XY向位移平台部分、砂轮旋转定位部分、桥式立柱部分以及含有柔性铰链的Z向微位移系统部分,通过有限元静动力学分析优化机台结构,使其满足使用要求.实现XY向位移平台单脉冲步长0.3125 μm,Z向精级机构行程15 μm,精度0.03 μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔长彩	华侨大学机电及自动化学院	55	459	12.0	20.0
2	余卿	华侨大学机电及自动化学院	21	61	4.0	7.0
3	钟浩明	华侨大学机电及自动化学院	1	0	0.0	0.0