基于MEMS开关的射频衰减器的设计制作

• 作者: 崔建利 张斌珍 段俊萍 毛静 王伟 王明焕 贾志浩 赵龙
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS开关 共面波导(CPW) 射频衰减器 UV-LIGA 宽频带
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 162-166,203
• 分类号: TH703|TN631
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.03.005

摘要

提出了一种基于微机电系统(MEMS)开关的射频衰减器的设计方案.首先在DC～20 GHz内,以10 dB衰减量为目标,对整体电路结构进行设计,选择以共面波导(CPW)为传输线,接触式MEMS开关作为控制器件,同时以开关中的电容作为断路时的平衡器件进行电路匹配;然后按所需衰减量计算T型网络中各个电阻大小;按照计算值,在CST微波工作室中建模仿真得到工艺加工需要的尺寸;最后结合UV-LIGA工艺对衰减器进行了样片试制并对其性能进行了测试.测试结果显示,在DC～20 GHz内,目标衰减量为10 dB时,最大偏差可以控制在2 dB之内.结果表明,以MEMS开关为基础的衰减器,可以在宽频带内实现更加稳定的衰减.