SiC高温高量程MEMS加速度传感器的仿真与分析

• 作者: 冯恒振 智丹 杨志才 石云波 陈艳香
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 高量程加速度计 SiC 高温 抗过载 Ansys
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 传感器研究
• 页码范围: 1471-1475
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2136字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2015.10.009

摘要

加速度传感器材料的特性对传感器的性能影响很大,SiC作为新一代半导体材料具有优良的力学温度特性,适用于高温、高过载加速度传感器.基于SiC提出了一种可用于高温、高过载环境的加速度传感器设计方案.根据悬臂梁的相关力学理论知识,对传感器结构、尺寸进行了设计,并利用ANSYS有限元仿真软件对SiC材料传感器敏感结构进行模态分析、静力学分析、热分析.仿真结果表明,6H-SiC材料表现出了比Si材料更优异的抗高温、抗过载特性,为应用于高量程、高温环境下的加速度传感器研究提供了可靠的理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石云波	中北大学电子测试技术国家重点实验室	108	610	14.0	20.0
5	陈艳香	中北大学电子测试技术国家重点实验室	2	8	1.0	2.0
9	智丹	中北大学电子测试技术国家重点实验室	4	20	3.0	4.0
11	杨志才	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	18	3.0	3.0