晶片与光刻胶温度差对波导损耗的影响

• 作者: 何培栋 孙钦芳 张爱玲 闫广拓
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 工学
• 关键词: 钛扩散 铌酸锂波导 损耗
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 光器件
• 页码范围: 8-11
• 页数: 4页
• 分类号: TN252
• 字数: 1554字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13921/j.cnki.issn1002-5561.2015.12.003

摘要

研究了铌酸锂晶片与光刻胶之间的温度差对钛扩散铌酸锂波导传输损耗的影响.分别在高温度差和低温度差下制备了钛扩散铌酸锂波导,并对其进行了测量.对比实验结果表明,温度差相对较低时,可以得到较大的波导模场尺寸和较小的波导传输损耗.仿真结果显示,波导模场尺寸较大时,波导的传输损耗较小,与实验结果一致.