扫描电子显微镜图像荷电现象的研究

• 作者: 蔡锴 邓平晔 黎爽
• 来源期刊: 国外电子测量技术
• 学科: 工学
• 关键词: 扫描电子显微镜 荷电效应 导电性能 基尔霍夫定律
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 页码范围: 62-66,78
• 页数: 6页
• 分类号: TN16
• 字数: 3878字
• 语种: 中文

摘要

扫描电子显微镜在观察材料样品表面形貌领域应用广泛。在日常的实验过程中经常会遇到导电性能不佳的样品，这会产生不同程度的荷电现象，对图像质量以及样品的形貌表征都产生了极大的影响，时刻困扰着操作人员。为了克服这一问题，通过调整仪器参数设置、选择探测器以及辅助导电等手段，经过实验比对、理论验证，提出了7种方法，这些方法可以减轻或消除荷电效应对图像质量的影响，适用于当今主流的场发射扫描电子显微镜，应用广泛、适用性强。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓平晔		13	51	4.0	6.0
2	黎爽		7	28	3.0	5.0
3	蔡锴		5	16	2.0	3.0