用于超分辨成像的光瞳滤波器加工质量与性能参量分析

• 作者: 吕罗兰 张祥朝 徐敏
• 来源期刊: 光子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微光学元件 加工误差 性能参量 光瞳滤波器 超分辨成像 公差控制 相关系数
• 年，卷（期）: 2015,（10）
• 所属期刊栏目: 光学设计与制造
• 页码范围: 1-7
• 分类号: TH742
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/gzxb20154410.1022001

摘要

用Spearman相关度分析法研究了3环带纯相位光瞳滤波器的加工质量与超分辨性能之间的显著度关系,并比较了不同环带光瞳滤波器的偏心对超分辨性能的影响.结果表明,环带的偏心与光斑半径、Strehl比的相关度系数均大于0.8,倒圆可使一级旁瓣强度的变化率高达29.04％,因此环带偏心和倒圆是决定元件性能的有效表面质量参量;外层环带偏心对超分辨性能的影响大于内层环带,需要更加严格的公差控制.该方法为微光学元件设计加工中的准确度控制提供了理论依据及可行的技术途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张祥朝	复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心	3	10	1.0	3.0
2	徐敏	复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心	27	57	4.0	6.0
3	吕罗兰	复旦大学上海超精密光学制造工程技术研究中心	1	1	1.0	1.0