7A04铝合金表面DLC薄膜制备及性能研究

• 作者: 王锦标 苏永要
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 铝合金 过渡层 类金刚石 磨损性能
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 608-613
• 分类号: TG174.444|TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.05.17

摘要

为提高7A04铝合金的表面性能,利用射频辅助等离子体浸没离子注入与沉积设备,在其表面制备类金刚石(DLC)薄膜.由于DLC薄膜与铝合金基体力学性能差别较大,导致膜基结合力差.本研究采用非平衡磁控溅射技术预先沉积一层Si膜,作为过渡层改善膜基结合力;利用激光拉曼光谱仪、维式显微硬度计、纳米划痕仪、摩擦磨损试验机等设备,系统分析了薄膜结构、显微硬度、膜基结合力及耐磨损性能.结果表明,Si过渡层的制备提高了基体的承载能力和膜基结合力,进而使耐磨损性能得到大幅度提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	苏永要	重庆文理学院新材料技术研究院	16	61	5.0	7.0
3	王锦标	重庆文理学院新材料技术研究院	15	63	5.0	7.0