石墨靶和钛靶共溅射制备的TiCN薄膜的结构和性能

• 作者: 杜昊 王均 王辉 范洪远 赵海波 鲜广
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 石墨靶 TiCN薄膜 溅射 结合强度 丝锥
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 614-619
• 分类号: TQ153.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.05.18

摘要

在氮气和氩气的混合气氛下通过共溅射石墨靶和钛靶在M2高速钢基体上制备TiCN薄膜,利用扫描电子显微镜和X射线衍射仪分析TiCN薄膜的组织与结构,采用纳米压痕仪检测TiCN薄膜的硬度,同时采用压痕法和划痕法评价薄膜与基体的结合状况,并对TiCN薄膜丝锥进行切削试验,考察TiCN薄膜的耐用性.结果表明:TiCN薄膜中的C原子以固溶于TiN晶格形式存在,TiCN薄膜在(111)晶面的取向较TiN薄膜明显减弱,TiCN薄膜的断口为长块状结构,其横向尺寸较TiN薄膜小,TiCN薄膜表面呈凹凸状.TiCN薄膜与基体的结合力为40N左右,C原子在TiCN薄膜中具有固溶强化和细晶强化作用,TiCN薄膜的硬度由TiN薄膜的20.3提高到33.4 GPa.TiCN薄膜具有良好的减摩性能,攻丝40Cr材质时TiCN薄膜丝锥的使用寿命较TiN薄膜丝锥和无涂层丝锥明显提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范洪远	四川大学制造科学与工程学院	78	463	10.0	17.0
2	王均	四川大学制造科学与工程学院	76	570	14.0	19.0
3	王辉	四川大学分析测试中心	52	273	9.0	15.0
4	赵海波	四川大学分析测试中心	26	175	7.0	12.0
5	杜昊	四川大学制造科学与工程学院	7	18	3.0	4.0
6	鲜广	四川大学制造科学与工程学院	26	62	4.0	6.0