氨水、双氧水转国产化应用

• 作者: 吴晓鸫 顾爱军 马慧红
• 来源期刊: 电子与封装
• 学科: 工学
• 关键词: 纯度 金属离子 栅氧质量 良率
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 页码范围: 46-48
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 2328字
• 语种: 中文

摘要

化学试剂是微电子制造工艺中清洗工艺的重要材料。由于微电子制造对化学试剂的各项要求极高，在该制造业发展初期，国内中高端生产线以进口化学试剂为主。随着国内原材料厂商工艺能力的提高，各种国产化学试剂正逐步取代进口试剂。由于微电子制造对质量的要求，化学试剂国产化需要一个较长的过程。通过国产与进口氨水及双氧水在试剂纯度、单项工艺指标及能力、使用后的产品性能等方面作对比，得到了国产试剂可以取代进口试剂的结论。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	顾爱军		10	13	2.0	2.0
2	吴晓鸫		6	2	1.0	1.0
3	马慧红		5	4	1.0	2.0