油扩散泵返油率的控制分析

• 作者: 张静 王栋庆
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空系统 油扩散泵 返油
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 真空获得与设备
• 页码范围: 57-59
• 分类号: TH36
• 语种: 中文
• DOI: 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.01.14

摘要

基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张静		1	2	1.0	1.0
2	王栋庆		1	2	1.0	1.0