电弧离子镀沉积TiCx薄膜的结构和性能研究

• 作者: 张林 林国强 马国佳 马贺
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 化学
• 关键词: TiCx薄膜 电弧离子镀 力学性能
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 结构薄膜
• 页码范围: 620-624
• 分类号: O647.5
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.05.19

摘要

采用脉冲偏压电弧离子镀沉积系统,在W6Mo5Cr4V2高速钢基体上制备出不同成分的TiCx薄膜.通过扫描电镜、X射线衍射、X射线光电子谱及拉曼光谱对薄膜的表面形貌和微观结构进行分析;采用纳米压痕和摩擦磨损试验来表征薄膜的力学性能.结果表明:所制备的薄膜为富碳TiCx薄膜,富碳成分均以非晶碳形式存在.随着非晶碳组分的增加,薄膜硬度和弹性模量逐渐降低,获得的最高值分别为36 GPa和381GPa,同时薄膜的摩擦系数在0.2～0.3之间.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马国佳	北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室	16	30	4.0	4.0
2	林国强	大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室	59	562	13.0	21.0
3	张林	北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室	10	53	5.0	7.0
7	马贺	北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室	1	0	0.0	0.0