超声强化 FeCl 3溶液蚀刻覆铜板的研究

• 作者: 张凡 杨日福
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 工学
• 关键词: 超声 FeCl3 溶液 蚀刻 覆铜板 蚀刻速率
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 实验教学
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TG172.6|TB559
• 字数: 1837字
• 语种: 中文

摘要

为了提高FeCl3溶液蚀刻覆铜板制作印制电路板的效率，采用超声强化FeCl3溶液蚀刻覆铜板，研究了蚀刻时间、蚀刻液浓度、温度、超声电功率和超声频率对覆铜板蚀刻速率的影响，并且与静态蚀刻对比。结果表明：超声强化FeCl3溶液蚀刻覆铜板的蚀刻速率随蚀刻时间的延长持续下降，蚀刻速率下降逐渐减缓；10 min内的平均蚀刻速率随浓度的提高而增大，随蚀刻液温度的升高而增大，随超声电功率的增加先增加后减少（在超声电功率为80 W时达到最大），随超声频率的增加有降低的趋势。超声强化蚀刻和静态蚀刻的对比结果可以说明：超声波在FeCl3溶液蚀刻覆铜板中可以起到良好的强化作用。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨日福	华南理工大学物理与光电学院	64	491	13.0	18.0
2	张凡	华南理工大学物理与光电学院	18	278	8.0	16.0