刻蚀机装备设计中的序贯试验设计方法研究

• 作者: 段文睿 田凌 韩文彬
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 试验设计方法 序贯设计方法 元建模 刻蚀机腔室 设计
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺设备
• 页码范围: 625-633
• 分类号: TN405.98|O212.6
• 语种: 中文
• DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2015.05.20

摘要

450 mm晶圆刻蚀机开发中大量应用确定性仿真来模拟腔室内部物理、化学环境,并通过仿真结果指导装备结构的详细设计.为控制仿真试验的采样规模以缩短开发周期,本文详细介绍一种新型的基于采样密度和非线性度的序贯设计方法.此方法通过蒙特卡洛方法,在设计空间中获得采样密度信息,进而对低采样密度区域增加采样点.另外,通过对每个采样的领域进行发掘,以获得采样的梯度和非线性度信息,进而对高度非线性的区域增加采样点.以450 mm刻蚀机约束环设计模型和Goldstein-Price模型为背景,采用拉丁超立方和新型序贯设计方法同时采样,以代理模型精度和特征捕捉能力两个角度来对比采样结果的优劣,结果证明,在达到同样精度的前提下,新型序贯设计方法能有效减小采样规模,符合刻蚀装备设计的需要.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田凌	清华大学机械工程系制造工程研究所	76	1094	17.0	30.0
2	段文睿	清华大学机械工程系制造工程研究所	5	34	2.0	5.0
3	韩文彬	清华大学机械工程系制造工程研究所	3	2	1.0	1.0