MEMS谐振器刚度非线性特性及其表征

• 作者: 余才佳 滕霖 王玉朝 田蕊
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) MEMS谐振器 刚度非线性 自然谐振频率 锁相环 自动增益控制
• 年，卷（期）: 2015,（11）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 3114-3120
• 页数: 7页
• 分类号: V241.5|TN752
• 字数: 2219字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20152311.3114

摘要

为了准确表征微电子机械系统(MEMS)谐振器在大振幅运动时的行为特性,建立了刚度非线性MEMS谐振器集总参数模型,并创建了一整套MEMS谐振器非线性特性的表征方法和测试系统.搭建了基于锁相环和自动增益控制的MEMS谐振器闭环工作电路,分析了不同驱动振幅下,MEMS谐振器的工作状态.推导建立了工作振幅、工作频率与MEMS谐振器刚度非线性之间的数量关系.最后,基于衰减模式和稳定振荡模式两种工作形态,实际测量了MEMS谐振器的无阻尼自然谐振频率和刚度非线性.结果显示:无阻尼自然谐振频率和刚度非线性系数的测量重复性分别为18.6×10-6和1.50％.针对实测的MEMS谐振器无激励振幅自衰减曲线,分别用理想二阶系统谐振器模型和刚度非线性谐振器模型进行残差分析.结果显示后者的残差要比前者的残差小9.5％,表明刚度非线性MEMS谐振器模型更接近真实情况,也验证了该刚度非线性特性表征方法的准确性.基于该方法,测量了MEMS谐振器刚度非线性系数和无阻尼自然谐振频率的温度特性,得到的无阻尼自然谐振频率的温度系数为-0.487 Hz/℃,线性拟合度达99.964％.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉朝	中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所	2	11	2.0	2.0
3	滕霖	中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所	7	48	4.0	6.0
4	余才佳	中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所	4	12	2.0	3.0
7	田蕊	中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所	1	4	1.0	1.0