316 L不锈钢制备FeAl/Al2O3防氚层的研究?

• 作者: 但敏 冯军 沈丽如 童洪辉 赖新春 金凡亚 陈美艳
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 316L 不锈钢 磁控溅射 热处理 氧离子注入 防氚
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺?技术
• 页码范围: 5101-5105
• 页数: 5页
• 分类号: TB43
• 字数: 3703字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9731.2015.05.020

摘要

在316L不锈钢基体上,采用磁控溅射镀铝、热处理、氧离子注入复合工艺制备 FeAl/Al2 O3防氚层,并利用 XRD、SEM、EDS 分别对膜层进行了相结构、表面形貌、化学成分等分析.结果表明,磁控溅射制备了质量良好的铝膜,最佳工艺参数为温度170℃,溅射功率1400 W；热处理生成了含 FeAl 相的过渡层,并提高了膜基结合力,在700℃,120 min 时,膜基结合力达到最大值62．5 N；最终由离子注入生成的Al2 O3膜层由α、γ相组成,涂层厚度约360 nm,抗热震性能较好,在600℃下该涂层使316L不锈钢的氘渗透率降低3个数量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈美艳		17	34	4.0	4.0
2	金凡亚		57	226	8.0	12.0
3	沈丽如		52	377	11.0	16.0
4	童洪辉		51	520	10.0	21.0
5	冯军		34	180	4.0	12.0
7	但敏		28	57	4.0	5.0