高纯多晶硅生产技术及发展现状

• 作者: 李燕
• 来源期刊: 山西化工
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯多晶硅 改良西门子 硅烷法 流化床法 金属还原法 冶金方法
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 综述与论坛
• 页码范围: 27-28,33
• 页数: 3页
• 分类号: TQ127.2|TB33
• 字数: 1924字
• 语种: 中文

摘要

论述了当前生产高纯多晶硅的方法,对一些方法进行了比较分析.高纯多晶硅生产方法主流是改良西门子技术.分析了新技术的发展状况,得出结论,冶金方法将不断成熟;在环境污染情况下,新硅烷方法将得到发展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李燕		2	2	1.0	1.0