截止频率8.7THz的平面肖特基势垒二极管

• 作者: 唐海林 安宁 曾建平 李倩 李志强 熊永忠 王文杰 童小东
• 来源期刊: 太赫兹科学与电子信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹 肖特基势垒二极管 串联电阻 零偏结电容 截止频率
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 太赫兹科学技术
• 页码范围: 679-683
• 页数: 5页
• 分类号: TN311+.7
• 字数: 2195字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11805/TKYDA201505.0679

摘要

肖特基势垒二极管(SBD)具有强非线性效应、速度快及容易系统集成等特点,常用于微波、毫米波及太赫兹波的产生和检测.本文通过电子束光刻等技术制作出肖特基接触直径1 μm的二极管,并对二极管进行了直流测试和射频测试.经过直流测试,二极管的串联电阻为10.2 Ω,零偏结电容为1.76 fF,肖特基结截止频率达到了8.7 THz;相同管子的射频测试串联电阻为15.4 Ω,零偏结电容1.46 fF,肖特基结截止频率也达到了7 THz.