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高纯钌粉制备技术的研究和进展?
高纯钌粉制备技术的研究和进展?
作者:
任县利
张吉明
李爱坤
管伟明
胡洁琼
谢明
陈松
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
钌粉
高纯
制备技术
生产工艺
钌靶
摘要:
目前大量使用的钌靶主要用粉末冶金方法制备,所用原料为高纯钌粉。粉末质量是影响钌靶制备和使用性能的关键问题。基于文献和实验,详细列出了高纯钌粉在纯度、尺寸等方面的具体特征,给出了高纯钌粉的具体指标和要求。系统概述了高纯钌粉的主要制备工艺路线和流程(包括物料预处理、氧化溶解、氧化蒸馏、吸收浓缩、沉淀结晶、煅烧分解、还原制粉),以及各过程中的主要原理、工艺步骤和加工方法。在此基础上,系统总结和归纳了目前国内外主要厂家和研究机构的主要生产工艺和流程,并对其制备方法、工艺路线及特点进行了分析和讨论。在研究制备原理和工艺的基础上发现控制杂质含量的基本原则,即通过多次反复四氧化钌的氧化蒸馏和吸收这一过程可降低杂质阳离子含量,而通过煅烧、氢气还原、真空处理等可以有效去除杂质阴离子,根据钌粉中超标的离子种类,就可确定需要改进的工艺环节和步骤。分析了热等静压、放电等离子烧结和真空热压等方法制备钌靶时,所需钌粉在纯度和晶粒尺寸方面的具体要求,以及钌粉末的晶粒尺寸和形貌对靶材的机械加工性能、溅射性能的影响。最后给出了高纯钌粉制备技术方面急待解决的重要问题和发展方向。
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文献信息
篇名
高纯钌粉制备技术的研究和进展?
来源期刊
材料导报
学科
工学
关键词
钌粉
高纯
制备技术
生产工艺
钌靶
年,卷(期)
2015,(13)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
123-127
页数
5页
分类号
TG146.4
字数
5470字
语种
中文
DOI
10.11896/j.issn.1005-023X.2015.013.023
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材料导报
主办单位:
重庆西南信息有限公司(原科技部西南信息中心)
出版周期:
半月刊
ISSN:
1005-023X
CN:
50-1078/TB
开本:
大16开
出版地:
重庆市渝北区洪湖西路18号
邮发代号:
78-93
创刊时间:
1987
语种:
chi
出版文献量(篇)
16557
总下载数(次)
86
总被引数(次)
145687
相关基金
云南省自然科学基金
英文译名:
官方网址:
项目类型:
面上项目
学科类型:
国家自然科学基金
英文译名:
the National Natural Science Foundation of China
官方网址:
http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:
青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:
数理科学
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