宽响应范围的MEMS热电偶真空度传感器

• 作者: 唐力程 杨涛 欧文 毛海央 熊继军 薛晨阳 陈大鹏 雷程
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 热电偶 真空度 双层多晶硅 微电子机械系统(MEMS) 灵敏度
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: MEMS与传感器
• 页码范围: 765-769,810
• 分类号: TP212|TH703
• 语种: 中文
• DOI: 10.13250/j.cnki.wndz.2015.12.004

摘要

报道了一种基于双层多晶硅材料的MEMS热电偶真空度传感器.该器件采用双层热偶排布方式可进一步减小器件横向尺寸,同时采用XeF2各向同性正面刻蚀技术释放形成微腔结构,该技术避免了湿法腐蚀工艺复杂、不易控制等缺陷.在器件制备的基础上,对该器件在不同真空度条件下的响应特性进行了测试,测试结果表明该器件在常温下的真空响应上限达105 Pa.而不同加热功率条件下,该器件的响应灵敏度随着加热功率的增大呈增大趋势.