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篇名 第十九讲 真空溅射镀膜
来源期刊 真空 学科 工学
关键词
年,卷(期) 2015,(1) 所属期刊栏目 真空技术应用系列讲座
研究方向 页码范围 79-80
页数 分类号 O484|TB4
字数 语种 中文
DOI 10.13385/j.cnki.vacuum.2015.01.20
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1 张以忱 153 408 11.0 16.0
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期刊影响力
真空
双月刊
1002-0322
21-1174/TB
大16开
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
8-30
1964
chi
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2692
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3
总被引数(次)
12898
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