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第十九讲 真空溅射镀膜
第十九讲 真空溅射镀膜
作者:
张以忱
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文献信息
篇名
第十九讲 真空溅射镀膜
来源期刊
真空
学科
工学
关键词
年,卷(期)
2015,(1)
所属期刊栏目
真空技术应用系列讲座
研究方向
页码范围
79-80
页数
分类号
O484|TB4
字数
语种
中文
DOI
10.13385/j.cnki.vacuum.2015.01.20
五维指标
作者信息
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姓名
单位
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张以忱
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空
主办单位:
中国机械工业集团公司沈阳真空技术研究所
出版周期:
双月刊
ISSN:
1002-0322
CN:
21-1174/TB
开本:
大16开
出版地:
辽宁省沈阳市万柳塘路2号
邮发代号:
8-30
创刊时间:
1964
语种:
chi
出版文献量(篇)
2692
总下载数(次)
3
总被引数(次)
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