3DG81B在静电放电作用下损伤效应与机理分析

• 作者: 吴东岩 宋培姣 谭志良 马立云
• 来源期刊: 高电压技术
• 关键词: 双极型晶体管 静电放电 损伤机理 敏感端对 微观分析 热二次击穿
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 电磁兼容与工频电磁场
• 页码范围: 4191-4197
• 页数: 7页
• 字数: 4472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13336/j.1003-6520.hve.2015.12.044

摘要

为研究高频低功率双极型晶体管在静电放电电磁脉冲下的损伤机理,分别采用静电放电试验法、软件仿真法以及微观失效分析法,对高频低功率双极型晶体管3DG81B进行静电放电试验,建立双极型晶体管的仿真模型,分别模拟静电放电电磁脉冲从EB结和CB结注入的整个过程,并通过微观分析来分析其失效机理.结果验证了高频低功率双极型晶体管对静电放电电磁脉冲的最敏感端对为CB结;同时还发现该类晶体管的损伤是由热二次击穿导致的热致损伤,最终导致晶体管局部区域发生融化而损坏,其损伤时的失效模式表现为电参数漂移、短路以及功能性失效.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭志良	军械工程学院电磁环境效应重点实验室	62	313	9.0	15.0
2	马立云	军械工程学院电磁环境效应重点实验室	3	10	2.0	3.0
3	宋培姣	军械工程学院电磁环境效应重点实验室	1	2	1.0	1.0