干涉式红外光谱仪分束器装校研究

• 作者: 樊庆
• 来源期刊: 红外
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉 分束器 面形 有限元方法
• 年，卷（期）: 2015,（3）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: TH744
• 字数: 2747字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2015.03.004

摘要

介绍了作为干涉式红外光谱仪重要部件的分束器的作用.根据分束器装校后产生的面形峰-谷(Peak-to-Valley,PV)值变化量必须达到0.05λ(λ=632.8 nm)的要求.确定了分束器的支撑方式.通过对其在平放、竖放和失重情况下的面形变化进行有限元分析,得知对压片施加不同的压强可以控制分束器的面形变化.发现在竖放时影响最大,此时能施加的最大压强为0.866 MPa.通过分析,为分束器选择了弹性支撑材料,确定了其尺寸大小,并将其加工成了实物.实际测量值证明,通过有限元分析方法能充分满足分束器的高精度装校要求.这为提高系统的精度提供了依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	樊庆	中国科学院上海技术物理研究所	3	1	1.0	1.0