退火气氛对镶嵌在SiO2中Ag纳米颗粒热演变影响效应的研究

• 作者: 乔瑜 于盛旺 申艳艳 贺志勇 金腾
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入 Ag纳米颗粒 气氛效应 Ag扩散
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 385-390
• 页数: 6页
• 分类号: TQ174
• 字数: 4181字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20140430

摘要

将70 keV的Ag离子以5×1016 cm-2的剂量注入到SiO2基底中,随后分别在400~800℃的Ar、N2、空气气氛中退火,详细研究了样品的表面形貌、光吸收特性、结构及成分随退火气氛及退火温度的变化规律。原子力显微镜、紫外-可见分光光度计及掠入射X射线衍射仪的测试结果显示：Ar气氛退火样品中形成的Ag纳米粒子(NPs)细小均匀,其颗粒密度在700℃时达到最大值,光吸收性能最佳；N2气氛退火引发Ag纳米颗粒的团聚生长,在样品近表面形成较大的Ag NPs,其颗粒密度也在700℃时达到最大值；而空气中退火后,由于AgO的形成、分解,样品的光吸收强度随退火温度升高持续下降。最后,卢瑟福背散射研究结果表明,样品的这些变化主要归因于Ag原子在不同退火气氛下随退火温度的扩散行为不同。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贺志勇	太原理工大学表面工程研究所	72	696	15.0	23.0
2	乔瑜	太原理工大学表面工程研究所	5	4	1.0	1.0
3	于盛旺	太原理工大学表面工程研究所	27	77	5.0	7.0
4	金腾	太原理工大学表面工程研究所	3	3	1.0	1.0
5	申艳艳	太原理工大学表面工程研究所	9	38	3.0	6.0