基于不同衬底的二氧化硅可调复用器/解复用器的单片集成芯片研究

• 作者: 代红庆 吴远大 安俊明 张家顺 李建光 王亮亮 王玥 王红杰 钟飞
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 可调复用器/解复用器 石英衬底和硅衬底 阵列波导光栅 热光可调光衰减器
• 年，卷（期）: 2015,（1）
• 所属期刊栏目: 光电器件
• 页码范围: 16-19,23
• 分类号: TN256
• 语种: 中文

摘要

分别设计制备了基于石英衬底和硅衬底的16通道200 GHz二氧化硅可调复用器/解复用器.该器件由一个16通道200 GHz的阵列波导光栅(AWG)和Mach-Zehnder干涉型热光可调光衰减器(VOA)阵列构成.在衰减量达到20 dB的时候,基于石英衬底的器件的外加偏压和功耗分别是11.7V和110 mW;而基于硅衬底的器件的外加偏压和功耗分别是22V和380mW.分析了基于不同衬底的器件性能出现差别的原因,并设计了新的结构,提高了器件性能.