大面积硫化锌窗口红外保护膜设计与制备

• 作者: 何光宗 张天行 熊长新 王航 贺芳 韩放
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 红外保护膜 大面积硫化锌窗口 离子束蒸发 化学气相沉积 环境适应性
• 年，卷（期）: 2015,（5）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 71-74
• 分类号: TN213
• 语种: 中文

摘要

硫化锌是重要的大尺寸红外光学窗口材料之一.根据硫化锌材料的工艺特性,采用了“减反过渡层+类金刚石膜”的复合结构,对膜系的光学性能进行了优化设计.采用离子束辅助蒸发和化学气相沉积的复合工艺在大面积的硫化锌基底上沉积了红外保护膜.分别采用红外光谱仪及纳米压入仪测试了样品的红外透过率及硬度.结果表明:该薄膜样品硬度较高,且在中波及长波红外波段均具有较高的透过率.大面积硫化锌窗口红外保护膜样品通过了GJB2485规定的环境适应性测试.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	熊长新	华中光电技术研究所武汉光电国家实验室	11	60	4.0	7.0
2	何光宗	华中光电技术研究所武汉光电国家实验室	4	14	2.0	3.0
3	贺芳		4	6	1.0	2.0
4	韩放	华中光电技术研究所武汉光电国家实验室	1	1	1.0	1.0
5	王航	华中光电技术研究所武汉光电国家实验室	1	1	1.0	1.0
6	张天行	华中光电技术研究所武汉光电国家实验室	1	1	1.0	1.0