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一种MEMS加速度计仿真
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摘要：
针对采用Post CMOS工艺设计的MEMS加速度计的结构进行仿真计算,最终得到:MEMS加速度计的质量块质量大小为2.53ug,感应方向的弹簧系统的弹性常数为2.1N/m,敏感方向上的自然谐振频率4600Hz,等效加速速度布朗噪声值58uG/√Hz,机械灵敏度3.46fF/G.在200mv交流电压供给下,加速度计的电压输出灵敏度达到1.67mV/G.
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主办单位：
黑龙江省工业设计协会
出版周期：
月刊
ISSN：
1672-7053
CN：
23-1516/T
开本：
大16开
出版地：
黑龙江省哈尔滨市
邮发代号：
14-339
创刊时间：
2005
语种：
chi
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