双向层流反应器结构设计与膜层均匀性探讨

• 作者: 周炳元
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: 反应器 进气腔 层流 沉积 膜层均匀性
• 年，卷（期）: 2015,（4）
• 所属期刊栏目: 玻璃深加工
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TQ171
• 字数: 2079字
• 语种: 中文

摘要

通过在线镀膜玻璃技术的研究,设计一种APCVD双向层流结构的反应器,其中进气腔设置不等宽流道,促进化学先驱气体扩散和反应沉积,从而提高了膜层均匀性.